等离子表面处理设备将等离子体中的活性氧与材料表面的有机（有机）物质氧化，等离子体清洗机气体流量对清洗机的影响氧等离子体在材料表面产生（有机）污点，分解有机（有机）污点，氢等离子体与表面氧化物相互作用以减少氧化物并产生水。另一方面，等离子表面处理装置的高能粒子冲击污垢等物理作用，例如用活性氩等离子体清
