等离子表面处理设备无论是晶圆源离子注入还是晶圆电镀，贵州等离子涂层设备都被选为IC芯片制造层面不可替代的重要技术。还可以实现低温等离子表面处理装置。去除晶片表面的氧化膜，对晶片进行有机（有机）物质、去掩膜、表面活性剂（化学）等超细化处理。。等离子表面处理设备的电源开关选择各种工艺气体分类和操作机构。
