气体比例分别为小，青海等离子处理仪参数中，大三种比例。其它参数为:蚀刻温度为: 150F; 蚀刻功率为: 2200W; 蚀刻时间视气体流量比例大小而定。比较孔壁的均匀性，选择蚀刻的气流流量比例。在许多情况下，青海等离子处理仪参数几种气体可以代替数千公斤的清洁剂，从而比湿法清洁少得多。 6.整个过程是
