因此，附着力检测对照表当真空等离子体清洗机启动时，真空室内部呈暗红色，说明真空等离子体正在反应。在相同的放电环境下，氢气和氮气产生的等离子体颜色都是红色的，但氩等离子体的亮度会低于氮气，高于氢气，更好区分。在去除晶圆、玻璃等产品表面颗粒的过程中，通常采用等离子体轰击材料表面颗粒，使颗粒分散、疏松，再
