排气阀座对真空泵起止回阀的作用，油漆附着力试验设备有哪些一旦损坏就失去单向阀的功能，降低真空等离子处理系统的真空能力。 5、各级旋片的检查本次检查主要是检查真空泵的各级旋片是否磨损或损坏。如果磨损或损坏严重，旋转叶片的配合间隙会增加。 , 这会影响疏散能力。 6、真空泵腔密封等密封圈的检查损坏的环容
