（1）化学反应（化学反应） 化学反应中常用的气体有氢气（H2）、氧气（O2）、甲烷（CF4）。这些气体在等离子体中反应形成高活性自由基。 ：这些自由基进一步与材料表面发生反应。反应机理主要是利用等离子体中的自由基与材料表面发生化学反应。高压有利于发电。 (2)物理反应(PHYSICAL REACTI
