半导体污染杂质和分类半导体生产最终需要一些有机和无机的参与，亲水性最强的物质有哪些另外，由于过程总是在净化室被人参与，所以半导体晶圆难免受到各种杂质的污染。按照污染物的来源和性质，可大致分为微粒、有机物、金属离子和氧化物。1.1微粒微粒主要是聚合物、光刻胶和蚀刻杂质。这些污染物通常主要依靠范德华引力
