快离子与中性粒子碰撞产生的中性自由基在等离子脱胶机中不断与样品表面碰撞，膜附着力测量方法中性粒子之间在等离子脱胶机中进行电荷交换和能量移动。 ..动能和振荡动能以温和的方式加热表面，解离和激发态产生的自由基以平移或振荡方式传递热量。当能量超过阈值时会发生自由基溅射。等离子体中的自由基是去除碳氢化合物
