随着微电子技术的发展，如何提高epe膜附着力等离子体清洗的优势越来越明显。介绍了等离子体清洗的特点和应用，讨论了其清洗原理和优化设计方法。然后分析了等离子体清洗工艺的关键技术和解决方案。等离子体清洗的特点是无论被处理对象的衬底类型如何，都可以进行处理，还可以很好地处理金属、半导体、氧化物、有机材料和
