并且各种粒子在对物体处理过程中所表现出来的作用也各不相同的。。半导体制造中需要一些有机物和无机物参与完成,另外,由于工艺总是在净化室中由人的参与进行,所以半导体圆片不可避免的被各种杂质污染。根据污染物的来源、性质等,大致可分为四大类。氧化物半导体圆片暴露在含氧气及水的环境下表面会形成自然氧化层。这层
