基于物理反应的等离子体清洗，油漆附着力代号又称溅射刻蚀(SPE)或离子铣削(IM)，其优点是不发生化学反应，清洗表面不留下任何氧化物，可保持被清洗物质的化学纯度，另一种等离子体清洗是物理反应和化学反应在表面反应机理中起重要作用，即反应离子腐蚀或反应离子束腐蚀，两种清洗可以相互促进。离子轰击对清洗后的
