所有链接，二氧化硅等离子体刻蚀机包括尖端、切肉刀和金线，都可能导致污染。如果直接接合不及时，就会出现虚焊、焊锡脱落、接合强度降低等问题。当 Ar 和 H2 的混合物用于在线等离子清洗数十秒时，污染物会发生反应并形成。挥发性二氧化碳和水。较短的清洁时间可去除污染物，而不会损坏键合区域周围的钝化层。因此
