等离子体清洗机在清洗聚合物中起着极其重要的作用:1.聚合物表面的重构:等离子体刻蚀过程中使用的惰性气体会破坏聚合物表面的离子键,平板显示器plasma清洁机器导致聚合物表面出现游离官能团。聚合物表面的自由官能团重组形成原有的聚合物结构,也可以与同一相邻聚合物链的自由官能团结合,或与不同相邻聚合物链的