超声波等离子体产生的反应是物理反应，电泳附着力差怎么处理高频等离子体产生的反应既是物理反应又是化学反应，微波等离子体产生的反应是化学反应。高频等离子清洗和微波等离子清洗主要用于现实世界的半导体制造应用，因为超声波等离子清洗对要清洗的表面有很大的影响。超声波等离子用于表面脱胶、毛刺研磨和其他处理。典型
