等离子处理设备主要包括预真空室、刻蚀腔、供气系统和真空系统四部分。等离子处理设备的工作原理是化学过程和物理过程共同作用的结果。自动化离子清洗设备采用数控技术，真空等离子系列自动化程度高；具有高精度的控制装置，时间控制的精度很高；正确的等离子体清洗不会在表面产生损伤层，表面质量得到保证；采用气体作为清
