通过等离子体清洗机的表面处理,可以改善材料的表面的润湿能力,以便各种材料涂层,涂层和其他操作,提高附着力,债券,同时去除水中的有机污染物、油或油脂、表面的应用处理器包括治疗,灰化、改性、蚀刻等工艺。等离子体清洗机不仅能彻底去除光阻等有机物，晶圆plasma表面清洗还能活化晶圆表面，提高晶圆表面润湿性
