这种电离气体由原子、分子、原子团、离子和电子组成。可实现物体表面的超净清洗、表面活化、蚀刻、光整及等离子表面涂层。由于低温等离子体表面处理的强度小于高温等离子体，电离真空规管可以保护被处理物的表面，所以在应用中多采用低温等离子体。一些温度较低的火焰，电离真空规管由于其电离程度较低，不能完全（完全）算
