在等离子体机技术下，成膜助剂对层间附着力气体发射的分解对高能电子起着决定性的作用。数以万计的高能电子与气体分子（原子）发生非弹性碰撞，将能量转化为分子（原子）的内能，发生激发、电离度、电离等更多环节，使气体处于活跃状态。在低势能(
