氧气作为气体参与反应发生氧化反应，湖南低温等离子处理设备厂家材料表面的有机物被氧气电离产生的氧离子氧化生成二氧化碳和水。非反应性气体电离后主要靠离子的物理轰击作用，去除污染物，有些气体在清洗的同时还可以使材料表面性质发生变化，例如氮气等离子可以改善金属材料的硬度和耐磨性。另两种常用的气体是氩气和氦气
