40kHz的自偏压约为0V，电晕机臭氧抽不干净怎么办13.56MHz的自偏压约为250V，20MHz的自偏压更低，这三种激发频率的机理不同，40kHz的反应是物理反应，13.56MHz的反应既有物理反应也有化学反应，20MHz有物理反应，但主要反应是化学反应，如果材料需要活化改性，要用13.56MH
