在许多情况下，使用中性束功率的高能等离子发生器有毒污染物的分子非常薄，在这种情况下，等离子体辅助处理是一种类似于焚烧炉中使用的焚烧炉工艺的倍增法。低温等离子处理工艺利用高能电子撞击载气（氮气和氧气）使其电离分解，自由基/离子与目标气体分子发生反应。有许多离子/自由基不能使用。它是在消耗大量电力的过程
