样品表面可以以非常高的能量转变。正氩离子被吸引到负极板。冲击力足以去除表面的污垢。这些气态污染物由真空泵排出。三台低温等离子装置 O2在化学过程中，三明真空等离子清洗设备上旋片真空泵原理等离子体与样品表面的化学物质发生反应。例如，有机污渍可以用 o2 等离子体有效去除。在这种情况下，o2 等离子体与
