等离子体腔清洗过程中产生的大部分污垢都接近电子级，镀锡板表面对附着力的影响通过真空泵将其清除。但也有一些大颗粒的污染物。这些大颗粒会附着在腔壁、电极和托盘上。洞壁上有一薄层“灰”，洞底坠落较严重。对于空腔壁，用非掉落毛刷清洁，使空腔壁内的颗粒粉尘异物脱落，用吸尘器吸出污垢。然后将N2和O2引入空腔，
