氩和氦性质稳定，电晕机有电流无电压放电电压低（氩原子电离能E为15.57eV)，易形成亚稳态原子。一方面，电晕清洁器利用其高能粒子的物理作用清洁易被氧化或还原的物体，Ar+轰击污垢形成挥发性污垢，通过真空泵抽走，避免了表面材料的反应；另一方面，氩容易形成亚稳态原子，再与氧、氢分子碰撞时发生电荷转换和
