控制单元分为两大部分:1)电源:主要有三个电源频率，plasma刻蚀分别是40KHz、13.56mhz和2.45ghz，其中13.56mhz是电源适配器所要求的。2)系统控制单元:分为三种，按键控制(半自动、全自动)、计算机控制、PLC控制(LCD触摸屏控制)。真空室真空室主要分为两种材料:1)不锈
