(3)电极和接地装置在真空室中施加高频电压，附着力和自交联结构使蒸气体击穿，通过辉光放电产生电离和等离子体。将真空室产生的等离子体全部覆盖，开始对加工工件进行清洗操作。通常清洗过程持续数十秒到分钟。清洗完毕后，将蒸汽体泵入真空室，切断高频电压，将蒸汽体的污物和蒸发排出。通过该装置在密封容器内设置两个
