如果测量仪在测量上方连接真空管和直接连接真空泵测量上方的真空值没有明显区别，玻璃盖板plasma蚀刻那么澄清真空管也是好的，接下来，只要在腔体密封性能上发现漏气的部位，腔体可能显示漏气的部位是密封条、玻璃窗、空位接头和外链、电极--和腔体外链，以及腔体破裂和外链的部位。Z容易显示漏气的部位是密封条和
