经等离子清洗机电离后，电池极片等离子清洗仪可产生含氢氟酸的刻蚀气体等离子体，可刻蚀、去除各种有机表面。广泛应用于晶圆制造、线路板制造、太阳能电池板制造等行业。真空等离子体清洗机产生的等离子体将四氟化气体电离成白色，肉眼观察类似于白雾，识别度高，易于与其他气体区分。光刻技术使用四氟化气来蚀刻硅片电路，
