一般来说，大气等离子体系统供应公司湿法去除选择性很高，但图案定义不佳会导致线宽粗糙度差，溶液的润湿效果会导致密集和细线塌陷。以及国内等。等离子蚀刻机制造商对干式等离子蚀刻去除的一般选择性较低，但不会出现这些问题。表 8.3 显示了一般干法蚀刻方法和实际性能。由此可见，虽然嵌段共聚物的选择性不高，AR
