PLASMA清洗可以理解为一个物理清洗的过程，亲水性氟化物与我们日常水洗衣物不同的是，它是一种干式的清洗方式，主要去除的是一些纳米级的有机污染物以及一些肉眼不可见的微粒，其工作的原理是等离子体与工件表面污染物发生反应，所产生的挥发物质被带走后，形成超洁净的工件表面。等离子表面活化通常被用来对材料表面
