后一项发现是能够通过各种形式（如电弧放电、辉光放电、激光、火焰或冲击波）将低压气态物质转化为等离子体状态。像在辉光放电的情况下，氮气等离子清洗机清洗原理氧气、氮气、甲烷和水蒸气等气体分子在高频电场下处于低压状态，被加速分解为原子和分子。带电的原子和分子。以这种方式产生的电子在被电场加速并与周围的分子
