Si-SiO2界面态的形成是NBTI效应的主要因素，洛阳电晕机故障报警无电压氢和水蒸气是引起NBTI的两种主要物质。它们在界面处的电化学反应导致施主界面态Nit，引起阈值电压漂移。此外，器件工作过程中未产生的氧化物陷阱电荷也引起阈值电压漂移。为了减小NBTI效应，必须降低Si-SiO2界面的初始缺陷
