2.电极与托板架的保养翻新托板架和电极长时间使用后会附着氧化层，氢氧化镁表面改性同时采用等离子体处理烃基材料时，一段时间后在托板架、电极，RF导电杆上会积累一层薄的烃基残留物，这些残留物和氧化层是无法用酒精擦拭掉的。应依据附着物的量对电极、托板架进行翻新维护能保证除胶的稳定。清洗材料要求：氢氧化钠、
