真空等离子清洗机的正常流程是先将工件固定在真空室内，泉州等离子清洗机装置分子泵流程通过真空泵等设备启动真空电离至10Pa左右，然后清洗等离子清洗机：O2、H2、Ar、N2材料根据工艺要求将各种气体和清洁剂引入真空室，压力保持在pa左右。在真空室的电极和接地装置之间施加高频电压，气体渗透，辉光放电使等
