它是除固体、液体和气体外物质存在的第四种状态。等离子体加工设备按等离子体温度可分为高低温等离子体和低温等离子体。热等离子体，气体表面改性原理就像太阳一样，是控制热核聚变的等离子体。采用低温等离子体，可将等离子体分为热等离子体、冷等离子体、高温等离子体、低压电弧放电、介质阻挡充放电、电晕放电、电晕放电
