其主要过程包括:首先将需要清洗的工件送入真空室固定,启动真空泵等装置开始抽真空排气到10Pa左右的真空度;接着向真空室引入等离子清洗用的气体(根据清洗材质的不同,选用的气体也不同,如氧气、氢气、氩气、氮气等),并将压力保持在 Pa左右;在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压,使气体被击穿,并通过
