第二阶段以O2、CF4为原始气体，玻璃盖板等离子体活化机生成O、F等离子体，与丙烯酸、PI、FR4、玻璃纤维等发生反应，达到钻井污染的目的。第三阶段以O2为原始气体，生成等离子体和反应残渣，清洗孔壁。等离子体除发生化学反应外，在等离子体清洗过程中，等离子体还与材料表面发生反应。等离子体粒子将原子敲离
