物质表面改性技术主要采用溅射、离子注入、等离子化学热处理等方法来制备低压等离子体，无机固体物质表面改性其中等离子喷涂、等离子淬火、多工渗透相变强化、等离子淬火、表面冶金等低溫等离子体，通常指压缩电弧等离子束等离子束。二、等离子蚀刻机在IC芯片制造领域在集成电路芯片制造领域，等离子蚀刻机的处理技术已经
