等离子体清洗机清洗工艺参考配方，平板plasma表面清洗器常用O2+Ar，根据不同的清洗材料，分别用氧气、氩气、氢气、氮气、四氟化碳等气体的清洗过程中，不同类型气体的反应机理不同，活性气体等离子体具有较强的化学反应活性，等离子体的不同气体具有不同的化学性质。例如O2等离子体具有很强的氧化性，可以通过
