在氧分子和电子的混合等离子体中，油墨有附着力原理游离氧原子具有很强的氧化能力（约10-20%），在高频电压下与晶圆感光膜发生反应：O2&RARR；O*+O*,CXHY+O* & RARR; CO2 & UARR; + H2O & UARR ;.反应后立即回收合成的 CO2 和 H2O。表面等离子加工
