在腔体真空度小于或大于设定值的情况下，福建等离子清洗设备螺杆真空泵根据计算结果自动调整真空泵马达的转速，使马达转速保持在设定值的范围内；当腔体真空度低于设定值时，只要腔体真空度与设定值有偏差，程序就自动计算，使真空式等离子清洗机真空泵的转速保持在能保持设定值的转速范围内，这种控制称为PID控制。P-
