等离子清洗机的特点有如下：①使用方便，江西真空等离子处理机参数成本低；②高效率真空电极；③通过流量计和针阀实现气体流量的控制；④ 等离子清洗机电源可调节控制在200W以内(完全可以满足清洁要求，刻蚀功率超过200W)；⑤自动阻抗匹配；⑥任意设定参数：加工时间.功率.煤气.压力；⑦安全防护功能：真空触
1100M/MIN、1300M/MIN，江西真空等离子处理机参数CF4：O2分别为0.5。蚀刻温度150F，蚀刻输出2200W，蚀刻时间15分钟。蚀刻后，分别测试孔中心的直径参数D2和孔边缘的参数D，孔的深度H，每个样品测试10个参数，取3个平均值，流速CF4和O2的比例，该比是孔壁平整度柔性板系列