等离子清洗对芯片键合前清洗效果的影响，江苏真空式等离子处理机报价经过等离子清洗后，对工件芯片进行接触角测试，试验检测得出：未进行等离子体清洗的工件样品接触角大约在45°~58°；对已经进行过化学等离子体清洗的工件芯片的接触角大约在12°~19°；对工件芯片进行物理等离
