等离子设备清洗作为近年来发展起来的一种清洗工艺，集成电路刻蚀机为这些情况提供了一种经济、高效、环保的解决方案。对于这些不同的污染物，可以采用不同的清洗工艺来获得理想的效果（效果），这取决于不同的基板和芯片材料，但如果选择了错误的工艺，产品可能会导致报废。例如，银集成 IC 采用氧等离子体工艺，该工艺
