反应室由真空室和真空系统、提供不同种类和流量气体的气体系统、射频电源及其调节匹配电路系统组成。电晕刻蚀的原理可以概括为以下几个步骤：1.低压下，电晕表面处理原理图解在射频功率激发下，反应气体电离形成电晕。电晕是由带电的电子和离子组成的。鉴于此，电晕表面处理原理图解本文介绍了低压电晕清洗技术的原理和特
