在传统等离子体中，如何判断竹纤维附着力好不好电子和离子的能量分布很宽，少量的高能粒子可以穿透靶材表面的几层原子，破坏基体。因此，如何优化等离子表面处理机的等离子能量分布一直是等离子刻蚀技术发展的方向。气体簇离子束在这方面具有很大的优势。气团是上万个原子或分子在物理或化学作用下相对稳定的聚集体。气团在
