总之，增加在光滑表面的附着力一方面液体溶解的气体，由于处理时温度上升或持续流动，很容易在处理区溢出，形成气泡，气泡的介电常数比液体小得多，因此，脉冲电压基本上全部施加到气泡上，导致气泡击穿。另外，由于plasma等离子清洗机处理室电极设计不当，在电极表面产生了不光滑的微小金属凸起，导致处理区内电场分
