3、等离子参数：在金刚石成核的早期，等离子清洗价钱由于碳在基体上的分散，在基体表面形成了界面层，因此等离子参数也有重要的影响。接口层。例如，如果金刚石沉积在硅衬底的表面上。甲烷浓度直接影响石化膜形成时SIC界面层的形成。 4、偏压增强成核：在微波等离子体化学气相沉积中，衬底一般是负偏压的。也就是说，
