等离子清洗以物理反应为主，pet涂胶附着力又称溅射蚀刻(SPE)或离子磨铣(IM)，其优点在于本身不发生反应，不留下清洁表面的氧化物，能保持清洗化学的纯性，有一种等离子清洗的表面反应机理是物理和化学反应中起着重要作用,也就是说,反应离子腐蚀或反应离子束腐蚀,两个清洁可以相互促进,离子轰击清洗表面损伤
