等离子刻蚀机工艺具有高品质、高稳定性、高效率、低成本、环保等特点。在微电子和生物医学领域，平板显示器等离子蚀刻设备等离子清洗技术提高了表面润湿性，表面活化，除尘除油，精细清洗，除静电等表面活化和清洗，涂层成为可能。提高表面附着力和涂层、可靠性和耐用性。等离子蚀刻技术广泛使用的原因是什么？等离子蚀刻机
